“智”造未來(lái)——千眼狼高速視覺(jué)+AI科技賦能泛半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)

   2月27日，“機(jī)器視覺(jué)與AI賦能泛半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)”在合肥盛大啟幕。安徽省視覺(jué)技術(shù)協(xié)會(huì)副理事長(zhǎng)單位，國(guó)內(nèi)行業(yè)高速攝像機(jī)、科學(xué)相機(jī)的頭部廠商，中科視界深度參與此次盛會(huì)，創(chuàng)始人呂盼稂先生蒞臨現(xiàn)場(chǎng)并致大會(huì)開(kāi)幕詞，與各位嘉賓共同探討泛半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展與愿景。

   隨著5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)快速發(fā)展，對(duì)芯片需求持續(xù)攀升，推動(dòng)泛半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展。同時(shí)產(chǎn)業(yè)正在向更高速度、更高精度、更智能化的方向發(fā)展，對(duì)制造過(guò)程中的檢測(cè)、控制和質(zhì)量提出更高要求。

   作為人工智能的重要分支，機(jī)器視覺(jué)模擬人類視覺(jué)系統(tǒng)，對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的各種物體和場(chǎng)景快速準(zhǔn)確的識(shí)別與檢測(cè)，AI技術(shù)則賦予設(shè)備強(qiáng)大的學(xué)習(xí)和分析能力，二者深度融合，以適應(yīng)復(fù)雜嚴(yán)苛的任務(wù)。

   從納米級(jí)缺陷檢測(cè)到高速精密動(dòng)作捕捉，千眼狼高速機(jī)器視覺(jué)+AI科技依托自主研發(fā)的高速攝像機(jī)、sCMOS科學(xué)相機(jī)，為泛半導(dǎo)體制造全流程提供關(guān)鍵視覺(jué)解決方案，助力客戶攻克核心工藝難題。

   高速攝像機(jī)在晶圓切割、封裝和測(cè)試中的應(yīng)用——

   編帶機(jī)吸頭/卡爪定位：千眼狼3000幀級(jí)高速攝像機(jī)捕捉吸嘴取放芯片瞬態(tài)位移，清晰觀察吸頭和卡爪的定位精度和穩(wěn)定性。AI分析機(jī)械手運(yùn)動(dòng)軌跡，預(yù)防飛片風(fēng)險(xiǎn)。點(diǎn)膠機(jī)膠路控制：通過(guò)千眼狼2000幀級(jí)高速攝像機(jī)捕獲不同氣壓下膠體拉絲、斷膠等異常瞬態(tài)圖像，定位閥體堵塞或氣壓波動(dòng)故障。

   分選機(jī)與錫膏焊接監(jiān)測(cè)：通過(guò)千眼狼萬(wàn)幀級(jí)高速攝像機(jī)監(jiān)測(cè)分選機(jī)吸頭和頂針動(dòng)作，錫膏流動(dòng)和焊接情況，通過(guò)慢動(dòng)作回放，清晰觀察動(dòng)作缺陷，AI分析配合情況，判斷設(shè)備是否需要維護(hù)。

   sCMOS科學(xué)相機(jī)在半導(dǎo)體晶圓/芯片缺陷檢測(cè)中的應(yīng)用——

   裸晶圓表面檢測(cè)：利用千眼狼 Gloria sCMOS科學(xué)相機(jī)UV波段檢測(cè)能力、95%量子效率與16bit動(dòng)態(tài)范圍，識(shí)別晶圓拋光后的納米級(jí)劃痕。

   圖案晶圓檢測(cè)：利用千眼狼Gloria sCMOS科學(xué)相機(jī)的弱光探測(cè)能力，融合光學(xué)系統(tǒng)與AI算法，區(qū)分光刻后的線寬偏差、套刻誤差等缺陷，實(shí)現(xiàn)對(duì)傳統(tǒng)電子顯微鏡檢測(cè)方案的有效替代。

   光掩模對(duì)準(zhǔn)與晶圓鍵合：利用科學(xué)相機(jī)低噪聲特性（暗電流0.2e-/p/s）保障弱光環(huán)境下對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記識(shí)別，鍵合界面間隙檢測(cè)精度可達(dá)亞微米級(jí)。

   中科視界致力于為泛半導(dǎo)體行業(yè)提供高速機(jī)器視覺(jué)與AI技術(shù)組合，依托高速視覺(jué)系統(tǒng)生成的海量圖像數(shù)據(jù)，通過(guò)AI訓(xùn)練關(guān)鍵工序的工藝參數(shù)預(yù)測(cè)模型，深度挖掘機(jī)器視覺(jué)數(shù)據(jù)價(jià)值，持續(xù)為產(chǎn)業(yè)升級(jí)賦能。